微纳加工技术

微纳加工新技术的开发包括新型微纳加工方式和手段的开发以及单元技术的研究。微纳加工技术的应用包括利用微纳加工技术在微机电系统、微传感器、微执行器、微机器人、微能源及生命科学仪器等方面的应用。

以国家的重大需求为导向，以解决先进光刻的关键技术为目标，在微纳技术及应用领域开展相关的新概念、新方法、新技术方面的前瞻性和基础性研究：

研究的重点集中在微纳检测技术，微纳操作技术，微能量转换技术等方面。

1. 微纳加工技术

微纳加工技术在我所有较好的研究基础，承担并完成了多项科学院和国家项目，在相关领域处于国内领先地位。目前，在科学院创新基金、百人计划人才基金、国家863和973项目的支持下，正在开展65nm-45nm-32nm-22nm微纳加工关键技术研究，尤其是ArF光刻、极紫外光刻（EUVL）、分辨率增强技术、光刻协同设计等关键技术，部分结果国际领先，取得了一系列自主产权专利、软件版权和学术论文成果。

2. 微纳检测分析与控制技术

微纳检测分析与控制技术，是微纳技术发展必不可少的技术，We Can Make It If We Can Measure It！高精度测量分析技术和相关仪器的国产化，已被政府和有识之士提到了重要的地位。目前，相关研究正在实施之中。

3. 微能量转化技术

MEMS(Micro Electro Mechanical System, 微机电系统)以其低成本、微型化等优势，在汽车、电子、家电、信息、机电、医药健康和生化环保领域有着极其广泛的应用前景和潜在的市场需求。大量的关于MEMS的研究报道都集中在传感器、执行器及相关的特定装置上。其中被广为忽视的两个领域是：(a)如何给这些微小的传感器和执行器提供能量；(b)如何对高度集成器件的热效应进行控制和制冷。MEMS微能源研制和制冷技术的落后已成为MEMS实用化的瓶颈和进一步研究开发的难题，所以研究MEMS微能源系统和制冷技术意义重大。我所在百人计划和863MEMS专项支持下,利用我所在能源领域的优势，已经开展了这方面的研究开发。

综上所述，微纳技术属于未来5－10－20年前瞻性、战略性高技术领域的重要学科领域。电工所微纳技术研究将立足技术创新，结合研究所制定的能源、电力安全和电工理论新技术两大领域发展战略目标，将微纳技术应用到信息、能源、电力、生命科学和健康保健等领域，以满足半导体企业、信息产业、能源、环境、生命科学和人口健康等领域对微纳技术的需求。